ファイル名アクション
simlib_magazine_1175.pdf
発行年月 2025年7月3日
タイトル3次元TCADシステム Advance/TCADデバイスシミュレータへの非平衡グリーン関数法(NEGF)の導入とナノシート構造への適用
言語日本語
著者①大倉 康幸
小田 嘉則
小瀬村 大亮
原田 昌紀
著者②小池 秀耀
著者所属①アドバンスソフト株式会社 第 1 事業部
著者所属②アドバンスソフト株式会社 代表取締役会長
要約Advance/TCAD デバイスシミュレータにおいて、最先端の研究段階である半導体テクノロジーノード2nm の対応を考慮して非平衡グリーン関数(NEGF)法のソルバー版の開発を行い、ナノシート構造への適用を行った。
書誌情報アドバンスシミュレーション 2025.7 Vol.32
DOI10.69290/j.001175-vol32
キーワード半導体、デバイスシミュレータ、3次元計算、平衡グリーン関数法、ナノシート構造
ページ数8