発行年月 | 2025年7月3日 |
タイトル | 3次元TCADシステム Advance/TCADデバイスシミュレータへの非平衡グリーン関数法(NEGF)の導入とナノシート構造への適用 |
言語 | 日本語 |
著者① | 大倉 康幸 小田 嘉則 小瀬村 大亮 原田 昌紀 |
著者② | 小池 秀耀 |
著者所属① | アドバンスソフト株式会社 第 1 事業部 |
著者所属② | アドバンスソフト株式会社 代表取締役会長 |
要約 | Advance/TCAD デバイスシミュレータにおいて、最先端の研究段階である半導体テクノロジーノード2nm の対応を考慮して非平衡グリーン関数(NEGF)法のソルバー版の開発を行い、ナノシート構造への適用を行った。 |
書誌情報 | アドバンスシミュレーション 2025.7 Vol.32 |
DOI | 10.69290/j.001175-vol32 |
キーワード | 半導体、デバイスシミュレータ、3次元計算、平衡グリーン関数法、ナノシート構造 |
ページ数 | 8 |