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simlib_magazine_914.pdf
発行年月 2018年7月24日
タイトルSRAMソフトエラーの3次元デバイスシミュレーション
言語日本語
著者原田 昌紀
著者所属アドバンスソフト株式会社 第 1 事業部
要約半導体デバイスの微細化が進むにつれ、デバイスが高速化し、記憶容量が増大していく反面、α線などの高エネルギー粒子によるメモリデバイスのソフトエラーが発生しやすくなる。特に SRAM ではその傾向が顕著である。今回、アドバンスソフト社製 Advance/TCAD デバイスシミュレータを使用し、SRAMソフトエラーの 3 次元デバイスシミュレーションを実施し、ソフトエラーの入射エネルギー依存性およびデバイスサイズ依存性を解析した。本稿では、解析内容を紹介するとともに、Advance/TCAD を SRAM開発における設計補助ツールとして提案する。
書誌情報アドバンスシミュレーション 2018.07 Vol.26
DOI10.69290/j.000914-vol26
キーワードTCAD、デバイスシミュレーション、メモリ、SRAM、ソフトエラー
ページ数8