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【解析事例: 構造】 MSC/MARCによる受託解析計算

 お客様のご要望に応じて科学技術計算ソフトウェアを用いた解析を実施いたします。

 シミュレーションを行い、計算結果を評価も含めてお客様にお納めします。計算結果は、アニメーションなどお客様のご要望に応じた形に加工致します。具体的な作業内容については、アドバンスソフトの技術者がお客様のご要望をお聞きします。既存のソフトウェアでの対応が困難であると判断された場合は、別途、受託開発サービスを含めてご提案させていただきます。

MSC/MARC(*)による受託解析計算

チャンバー用リンク

 真空チャンバーで使用されるリンク部分の応力解析の結果です。チャンバー内での部材の押さえつけに使用されています。シャフト形状(特にシャフトの太さ)によって押さえつける力がどの程度になるかを予測しました。シャフトが太すぎると装置内に組み込むことができなくなり、また細すぎると押さえつける力が弱くなってしまいます。
計算によりシャフトの最適形状を求め、その結果を実際の設計に反映しお客様の試作コストの削減につながりました。

チャンバー用リンク

半導体製造装置ヒーター

 半導体製造装置(ボンディング装置)に用いられるヒーターの熱解析結果です。高い精度が求められるため、形状を幾度となく変更し熱の逃げを予測しました。最終的にヒーターの温度分布がどのように変化するかを解析によって求めました。数十パターンの解析結果の中から数パターンを実際にお客様に試作していただき、実験結果と解析結果の比較を行い実機、計算精度をさらに向上させ最終的にお客様に満足いただける製品作りのお手伝いをさせていただきました。

半導体製造装置ヒーター

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